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高電力密度、低背型（1Uサイズ）、高電圧出力、高効率、高速応答、高調波電流規制対応、SEMI F47規格対応、並列運転/N+1冗長運転、補助電源、電源FAILアラーム、リモートコントロール機能搭載。
FETAシリーズ
定格入力： AC170 ～ 264V 1Φ
FETA7000T AC170 ～ 264V 3Φ-3Wire
FETA7000ST AC300 ～ 480V 3Φ-4Wire
定格出力電力：2500W, 3000W, 7000W
無償補償期間 3年（取扱説明書参照）
特長
高電力密度を実現したフロンドエンド電源
低背型（1Uサイズ）
高電圧出力（FETA3000BC/7000T/7000ST）
高効率
高速応答（FETA3000BC）
高調波電流規制対応
（FETA2500BA/3000BA/3000BC/7000ST： IEC61000-3-2 クラスA準拠
FETA7000T： IEC61000-3-12準拠）
半導体製造装置規格対応 （SEMI F47）
並列運転/N+1冗長運転可能
各種機能搭載
・補助電源（12V 0.15A）搭載
（FETA2500BA/3000BA/7000T/7000ST）
・電源FAILアラーム搭載
・リモートコントロール機能
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